丙硅烷

丙硅烷

丙硅是一种英文名称为Trisilane、Trisilico丙烷、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane的化学物质。它的主要用途为半导体硅膜制造、非晶硅制造。

简介英文名

Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane．

用途

半导体硅膜制造、非晶硅制造。

理化性质

液体密度(-117.4℃)： 725kg/m3

气体密度(0℃，101.325kPa)：4.15kg/m3

比热容(气体，27℃)： 1256.04J/(千克K)

粘度(20℃)：0.00318 Pa·s

基本概况

丙硅烷在常温常压下为可燃性有毒液体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷和乙硅烷更强。在空气中能自燃。它在空气中的爆炸范围不详，但是可以估计、比硅烷的爆炸范围还大。因此，当把它与空气接触时，为安全起见，必须把浓度控制存0.1%以下。丙硅烷的热稳定性也比硅烷差，靠其放电能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水，不与酸反应，但能与碱反应生成硅酸和氢。与单体卤素激烈反应。它无腐蚀性。

毒性及其安全防护

丙硅烷容器要存放在阴凉通风良好之处，要远离热源和火种，要与其它可燃性物质和腐蚀性药品隔离，库温不宜超过40℃，避免阳光直射。搬运时要轻装轻卸，严防容器受撞击。

着火时要切断气源，通惰性气体以控制火势，单纯靠灭火剂来灭火是不行的。

排放丙硅烷废气时，必须是在完全分解之后排放，或者是在严格控制之下燃烧掉。具体的作法如下：

(1)导入液化石油气等连续燃烧的火焰中，使其一同燃烧掉。

(2)通入碱性水溶液中，使其全部水解。

(3)通入碱金属(Na、Li等)的低级醇溶液中(约0.5%)，使其水解。

参考资料 >