江苏微导纳米科技股份有限公司(2015成立于江苏省无锡市的高端微纳企业)

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江苏微导纳米科技股份有限公司成立于2015年12月25日，法定代表人为王磊，注册地址为无锡市新吴区长江南路27号，注册资本46115.7283万人民币，是一家专注于半导体及泛半导体领域高端微纳装备研发与制造的上市企业。

江苏微导纳米科技股份有限公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，从事半导体及泛半导体高端微纳装备的研发、生产与销售，构建涵盖多种真空薄膜技术的产品体系，为集成电路、光伏、LED等多领域提供先进薄膜沉积设备及解决方案。2020年，该公司率先将国产量产型High-k原子层沉积设备应用于28纳米节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司；2022年12月，该公司在科创板上市（股票代码：688147），成为国内ALD设备“第一股”。截至2025年12月，公司设备发货突破500台，年营收近30亿元。

发展历程

2015年12月25日，江苏微导纳米科技股份有限公司成立，专注于半导体及泛半导体领域高端微纳装备研发与制造。

2016年，江苏微导纳米科技股份有限公司成功研制出适用于太阳能电池片量产的批量型ALD设备，迈出了向中国高端ALD设备技术产业化的关键第一步；2018年起，公司着力将研发与业务向半导体领域拓展。2020年，该公司率先将国产量产型High-k原子层沉积设备应用于28纳米节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司；2022年5月该公司入选第三批国家级专精特新“小巨人”企业，同年12月，该公司在科创板上市（股票代码：688147），成为国内ALD设备“第一股”。截至2025年12月，公司设备发货突破500台，年营收近30亿元。